
方案概述
用于電子元器件/密封件檢漏,方案由壓氦罐、檢漏罐、氦質(zhì)譜檢漏儀組成
方案優(yōu)勢

性能優(yōu)越
最小可檢漏率低,靈敏度高,檢測量程達到12級

自動清氦
獨特的氣路設(shè)計,提高了對氦的抽速,縮短了清氦本底時間,有效防止氦污染

智能化生產(chǎn)
智能故障提示及報警功能

方案構(gòu)成
用于電子元器件/密封件檢漏,方案由壓氦罐、檢漏罐、氦質(zhì)譜檢漏儀組成
行業(yè)應(yīng)用

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中國電子科技集團第三十八研究所
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